• 碳化硅懸臂槳

    碳化硅懸臂漿,碳化硅擴散槳,設計特點(diǎn):1、在高溫環(huán)境下不變形,晶片裝載力大;2、耐極冷急熱,使用壽命長(cháng);3、懸臂漿熱膨脹系數極小,極大地延長(cháng)了維護清洗的周期;并大幅減少污染物。應用在擴散爐中對多晶硅硅片或單晶硅硅片的(擴散)涂層過(guò)程中,對硅片在高溫環(huán)境中(1000---1300℃)的承載輸送作用,是半導體晶圓裝載系統的關(guān)鍵部件。常規尺寸有2378毫米,2550毫米,2660毫米等。

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